核工业西南物理研究院根据项目任务书的要求，需以询价的形式委托具有离子束刻蚀实验能力单位辅助配合完成研究内容，项目资金已落实，现将有关事项公告如下：

1、采购的实验内容及技术指标等

 （1）主要内容：

  1） 采用平行束射频离子源开展氩离子束不同离子能量、不同束流强度、不同离子束角度（样品法线与离子束之间的夹角）、束流均匀性及刻蚀时间等工艺参数对石英玻璃进行离子束刻蚀实验，研究其对刻蚀速率、表面粗糙度、面型、材料表面结构、损伤阈值的影响规律；

  2） 离子束角度及能量加工工艺参数对离子束溅射物沉积分布的影响；

  3） 样品的结构与物性表征

  采用光学显微镜、原子力显微镜、轮廓仪、干涉仪及激光器等对离子束刻蚀前后的石英玻璃表面进行表面成分、粗糙度、面形、微观结构、光学性能及抗激光损伤阈值表征与分析，并开展上述研究，最终得出该项目所要求的技术指标。

（2）技术指标：

  1） 最大束流强度条件下刻蚀速率≥60nm/min。

  2） 经离子束加工后，石英光学元件的表面粗糙度RMS<1nm。

  3） 石英光学元件经离子束加工后损伤阈值提升到原来的1.5倍以上。

2、供货服务周期

  按下列所要求的进度计划完成该项目：

  2022年3月完成不同离子束工艺参数下刻蚀速率，及对表面粗糙度影响规律实验。

  2022年5月完成不同离子束工艺参数对石英玻璃表面面型、损伤阈值影响规律实验。

  2022年6月提交成果：研究报告，检测报告及部分样品。

3、质量要求与责任等

（1） 乙方需交付的清单：

  1）《离子束刻蚀工艺参数对石英玻璃刻蚀速率、表面粗糙度、面型、材料表面结构、损伤阈值影响报告》；

  2）《离子束加工工艺参数对离子束溅射物沉积分布影响报告》；

  3）提交相关检测报告，并需经签字或盖章；

  4）提交相关实验样品。

（2）乙方需要准备试验过程中的所有样品及材料；

（3）本次技术服务中出现的研究成果、知识产权归甲乙双方所有，未经双方许可，任何一方不得私自发表专利、论文或者申报其他科技类奖项。申请专利或报奖第一顺序人须为核工业西南物理研究院。

4、结算方式及期限选择方式

  合同签订，在合同签订完成后的5个工作日内支付乙方合同金额的30%；2022年3月完成项目第一阶段验收后5个工作日内支付乙方合同金额的30%；完成最终验收，提交报告验收合格后10个工作日内支付乙方合同金额的40%，供方须向需方提交等额合法有效的增值税普通发票。

5、供应商要求及须知

  供货商须具备以下资质和业绩条件，并具备承担本次采购任务的相应能力。

（1）资质要求：

  投标人必须为拟具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照（或事业法人登记证等相关证明）以及履行合同所必需的设备和专业技术能力。

（2）财务要求：无。

（3） 信誉要求：

  1）投标人或其法定代表人（单位负责人）近三年无行贿犯罪记录，提供“中国裁判文书网”查询结果。

  2）投标人及其法定代表人未被最高人民法院在“中国执行信息公开网”列入失信被执行人名单，提供查询结果。

  3）投标人未被工商行政管理机关在国家企业信用信息公示系统中列入“严重违法失信企业名单”，提供“国家企业信用信息公示系统”查询结果。

  4）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

（4）报名截止时间是2021年11月27日12点。逾期不再接受报名。

（5）报价截止时间是2021年11月27日16点。逾期不再接受报价。

（6）本次询价在满足我方需求的前提下，原则上价低者中标。

6、参与方式：

  注册方式：本公告仅在中核集团电子采购网（https://www.cnncecp.com）发布。供应商参与本项目须先在中核集团电子采购网进行注册（注册免费）。

  报名方式：注册账号审核通过后，在首页点击“登录”，输入账号及密码登录系统，依次点击：依次点击→系统功能菜单→项目管理→我要报名，找到《核工业西南物理研究院-离子束刻蚀石英玻璃表面实验研究采购》，点击“我要报名”，即可查看项目信息并报名参与项目。报名后，请务必与我单位技术联系人取得电话联系确认是否满足相关技术要求；在通过报名审核后方能进行报价；若供应商在报名截止日期之前未与我单位技术联系人取得电话联系，则自动视为报名审核不通过。

  报价方式：报名审核通过后，依次点击：“项目管理”→“已参与的项目”，搜索找到“核工业西南物理研究院-离子束刻蚀石英玻璃表面实验研究采购”，上传盖有单位公章的报价单。

7、报价要求：

  报价构成：含税、含材料费、含实验、检测等费用的项目落地总价。

  鉴于我院希望与贵公司建立长期合作的关系，在满足使用要求、保证服务品质的前提下合理报价。

8、评定方法：

  根据符合采购需求且报价最低的原则确定成交供应商。（供应商报价时须对电子询价单内所有采购物资进行报价，如有未报全的，我方视为无效报价）。

9、发布公告的媒介

本公告在中核集团电子采购平台（https://www.cnncecp.com）发布。对于其他媒介发布的本项目公告，采购人对其准确性不承担任何责任。本次采购活动的最终解释权在核工业西南物理研究院。

10、联系方式

采购联系人：王老师

电话：028-82820900

技术联系人：聂老师

电话：13880246597

核工业西南物理研究院

2021年11月22日