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ZL 96 2 01618.7 磁偏滤导管式阴极弧等离子体源
编辑：
发布时间：
2005年11月19日
专利表
序号
申 请 号
发 明 名 称
申 请 人
13
ZL 96 2 01618.7
磁偏滤导管式阴极弧等离子体源
高玉
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